（1）アイテムのクリーニングと前処理を含むPVD前処理。具体的な洗浄方法には、洗剤洗浄、化学溶剤洗浄、超音波洗浄、イオン衝撃洗浄などがあります。
（2）真空チャンバーの洗浄と備品、およびアイテムと備品の設置、試運転、接続を含め、それらを炉に入れます。
（3）真空、通常6.6Pa以上のポンプで、拡散ポンプの前面を早めに開き、真空ポンプを維持し、拡散ポンプを加熱します。予熱が十分に行われた後、高弁が開かれ、拡散ポンプで6 x10-3Paの半底真空にポンプで送られます。
（4）ベーキング、アイテムを希望の温度にベーキングします。
（5）イオン衝撃、真空は一般に10Paから10-1Pa、イオン衝撃電圧は200Vから1KVの負の高電圧、攻撃時間は15分から30分です。
（6）予備溶融、電流を調整して材料を予備溶融し、電流を調整してめっきを予備溶融し、1分から2分間脱気します。蒸発堆積。蒸発電流は、必要に応じて、目的の堆積時間が終了するまで調整されます。冷却、アイテムは真空チャンバー内で特定の温度に冷却されます。
（7）取り出し後、真空チャンバーを閉め、1×10〜1Paまで真空引き、拡散ポンプを許容温度まで冷却してから、メンテナンスポンプと冷却水を停止します。